Микроэлектромеханические системы - МЭМС (MEMS)


Статус статьи

Не проверено экспертами


Назначение



Общие сведения

MEMS - устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Формируются за счет интеграции механических элементов, датчиков, приводов и электроники на общую кремниевую подложку с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Микроэлектронные интегральные схемы можно рассматривать как "мозг" системы MEMS, которая увеличивает возможности принятия решений этими устройствами, позволяя микросистемам чувствовать и контролировать окружающую среду. Технология MEMS потенциально может произвести революцию в почти каждой категории продуктов путем объединения кремниевой микроэлектроники с технологией микрообработки, что делает возможным реализацию завершенных систем на кристалле. Эта технология уже развертывается в области производства датчиков и акселерометров, основанных на чипах.


Актуальность использования



Эффекты от внедрения (использования)



Принцип функционирования



Опыт применения



Ссылки


Архитектурные кейсы, связанные с технологией